產(chǎn)品中心
product center
公司簡(jiǎn)介
Company Profile
湖南興晟新材料科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事高溫、高純、耐腐蝕材料與制品研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)，依托多位行業(yè)專(zhuān)家的緊密合作，開(kāi)發(fā)出了適合實(shí)際生產(chǎn)的涂層制備工藝與裝備，擁有CVD SiC涂層、TaC涂層及陶瓷基復(fù)合材料生產(chǎn)的核心技術(shù)。公司為LED、光伏、半導(dǎo)體、冶金、電子等行業(yè)的MOCVD裝備??、單晶硅爐、PECVD爐、單晶SiC爐、單晶CaN爐及第三代半導(dǎo)體外延爐、氧化爐、離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)提供耐溫、耐腐、高純零部件/耗材，并為用戶(hù)產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)化、設(shè)備改造提供高溫高純材料/零部件解決方案。
高性能CVD SiC、CVD TaC涂層系列產(chǎn)品
HIGH-PERFORMANCE CVD SIC、CVD TAC COATED SERIES PRODUCTS
lLED業(yè)：SiC涂層石墨托盤(pán)、Skirts
l光伏業(yè)：SiC涂層C/C復(fù)合材料導(dǎo)流筒、坩堝、蓋板、隔熱屏、PECVD舟架
l半導(dǎo)體：Si、SiC、GaN芯片外延基座/隔熱罩/過(guò)渡件/、氧化爐內(nèi)村管/工藝爐管、 TaC涂層單晶 SiC制備用坩堝/工裝/隔熱屏、Solid Sic盤(pán)/管/載片器
l冶金業(yè)：SiC涂層C/C復(fù)合材料，陶瓷基復(fù)合材料坩堝、熱場(chǎng)、料盤(pán)、架/管/舟
SiC單晶生產(chǎn)TaC涂層坩堝
TaC涂層托盤(pán)
TaC涂層噴管
TaC涂層隔熱屏
Solid SiC 盤(pán)、環(huán)
Solid SiC 載片器
4寸多片石墨盤(pán)（CVD SiC涂層）
6寸單片石墨盤(pán)（CVD SiC涂層）
PECVD舟架（CVD SiC涂層）
SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂層）CVD SiC涂層石墨發(fā)熱體
SiC陶瓷刻蝕盤(pán)（CVD SiC涂層）
